HAIS800系列步进投影光刻机

HAIS800系列步进投影光刻机应用于8英寸以下基底先进光刻应用领域，

满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。

产品特点

高分辨率，分辨率可达0.5μm

高速在线MAPPING技术

高精度拼接

多尺寸基底自适应切换

高产能

高精度套刻