您当前的所在位置是:首页 > 推荐设备 > HAIS820步进投影光刻机
HAIS820步进投影光刻机
HAIS800系列步进投影光刻机应用于8英寸以下基底先进光刻应用领域,
满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。
产品特点
高分辨率,分辨率可达0.5μm
高速在线MAPPING技术
高精度拼接
多尺寸基底自适应切换
高产能
高精度套刻
HAIS800系列步进投影光刻机应用于8英寸以下基底先进光刻应用领域,
满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。
产品特点
高分辨率,分辨率可达0.5μm
高速在线MAPPING技术
高精度拼接
多尺寸基底自适应切换
高产能
高精度套刻